湿化半导体痛点:
由于生产中直接接触高浓度强腐蚀性酸碱、氧化剂及超纯水,对阀门的材料、密封、温度和耐蚀性要求更为严苛
解决方案:
湿法半导体制造的第一原则是全生产链条氟化聚合物(PFA/PTFE)化,生产中优先选择隔膜阀,坚持 “全氟化、无金属、无死角、可快速维护”